高品質のマイクロプロセッシング

高品質のマイクロプロセッシング

高精度な微細加工を実施するには、特にビームの品質が影響する小さなスポットを加工する場合は困難を伴います。 ビームの真円度が深さ方向で維持されない場合、微細加工された形状は、特にビアホールのような高アスペクト比の構造では、対称性を欠いてしまいます。 このことは、材料不良や加工不具合による歩留まり悪化につながり、さらに切断後の工程が必要になる等、エンド・ユーザーにとっては時間とコストの増加になります。