レーザー・リソグラフィーは、微小電気機械システム（MEMS）や集積回路などの微細構造を作成するために幅広い用途で使用されている技術です。 フォトリソグラフィーと同じ原理で動作しますが、レーザー技術の発展により、レーザー・ベースの製造がますます一般的になっています。
フォトレジスト
Photolithography involves the use of a photosensitive polymer applied to surface with an optically opaque mask covering. When the polymer exposes to light, the sections not covered by the mask will become hard. The masked areas will remain soft and can easily etch away and the process repeats to build up more complex structures.
コンピューター・チップの製造では、シリコンの単一のレジストで覆われた層を数百の個別のチップに簡単に変換できるため、フォト・リソグラフィが最適な技術でした。 数ナノメートルのサイズまで、信じられないほど小さくて複雑なパターンを作成することが可能です。
フォト・リソグラフィーにはさまざまな波長の光を使用できますが、UV放射が一般的な選択肢です。 もともとランプは光源として使われていましたが、金属酸化物半導体に必要な最小の構造を作るために、ランプは徐々にレーザーに取って代わられてきました。
レーザー・リソグラフィー
High-power laser systems, such as CO2 lasers, are excellent tools for precision cutting and machining. The minimum possible feature size that is manufactured in laser lithography is proportional to the wavelength of light. The feature sizes achievable are also dependent on the quality and availability of focusing optics and laser beam quality.
There are many technical compromises when choosing optimal wavelengths and laser types of laser lithography. While higher power systems are often desirable for faster machining, thermal load on samples can be a problem and air starts to absorb sub-193 nm wavelengths. Instabilities in beam size and shape can also cause issues during the manufacturing process.
ソリッド・ステート・レーザー・システムは、優れた安定性と通常はターン・キー操作を備えているため、レーザー・リソグラフィーに最適であることが証明されています。 最新のシステムは、製造用途に十分な堅牢性を備えたデバイスで、レーザー・リソグラフィに必要な高出力を実現できます。
ノヴァンタのDPSSシステム
レーザー・リソグラフィー・アプリケーション向けに設計された、さまざまな出力波長を備えた3つのダイオード励起ソリッド・ステート（DPSS）を提供しています。 gemシリーズは、優れた出力を備えた473、532、および660nmの出力オプションで利用できます。
By using a combination of hermetic sealing and the PowerLoQ active fast feedback system, the gem can achieve outstanding levels of stability in all output beam characteristics. All three systems have a single traverse mode. Their small, compact footprint makes them easy to integrate into larger manufacturing platforms.
レーザー・リソグラフィーの鍵となるgemシリーズはMが低い2値と回折限界ビームであるため、可能な最小フィーチャー・サイズは波長によって制限され、焦点合わせやビーム条件が悪くなることはありません。 熱負荷が問題となる可能性のあるサンプルの場合、システムの電流/電力を完全に制御して、レーザー・リソグラフィプロセスの完全な最適化を可能にします。 詳細については、今すぐお問い合わせください。
ノヴァンタについて
Who we are is inevitably embedded in what we do, our innovations, and the people that make it happen. Our core strength is delivering market-leading solutions for our customers. The delivery of Novanta solutions continue to maintain deep and long-lasting customer relationships. We do this through our global application sales force, and quality-focused manufacturing expertise. It is thanks to what we accomplished in our past and our continuous work towards innovation, that makes us who we are today.
Novanta is a trusted technology partner to medical and industrial OEMs (original equipment manufacturers). Additionally, Novanta holds deep proprietary expertise in photonics, along with vision and precision motion technologies. We engineer mission-critical core components and subsystems that deliver extreme precision and performance. This enables our customers to improve productivity, to achieve breakthrough performance, and to enhance people’s lives.
Building a high-performing culture enables us to achieve our growth goals. For Novanta, culture starts with cohesive teams that engage and align around our vision and strategy. Those who live our values and drive performance through the Novanta Growth System. This is a common set of tools and processes for continuous improvement.
当社の高度に設計されたコンポーネントおよびサブシステム・ソリューション、および高度なフォトニクス、ビジョン、および精密モーションに関する深い専門知識により、当社は医療および高度な産業OEMに最適なグローバル・テクノロジーパートナーとなっています。
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