計測/検査： ウェーハ検査

計測/検査について： ウェーハ検査

レーザー・システムは、異物による廃棄懸念される乾燥環境でウェーハ内の欠陥を検出するための最適な機器になりつつあります。 技術がインライン・スキャン生産ラインでより多く使用されるようになるにつれて、レーザー・システムに対するこれらの統合の課題への適応性が必要とされるようになってきています。 ノヴァンタは、このアプリケーション内の要求を理解し、前述の要求を満たすように調整された機器を提供します。

• 誤検知を減らし、24時間年中無休の製品寿命と電力レベルの保持により高スループットを提供します。
• ダウンタイムを防止および最小化するためのリモート・サービスを使用した、再現可能なパフォーマンスのレーザーからレーザーへ。
• ようにに統合できるコンパクトなプラットフォームで、ウォール・プラグの効率が高いため、インラインで高速スキャンを実行し、正確な結果を得ることができます。
• クリーンな動作環境に準拠した、欠陥を敏感に検知する空冷ソリューション。